CyberSpectrum是一个功能强大但非常简单的软件，具有直观的界面，为多种应用的实时测量和分析提供数字和视觉反馈.
WaferSense软件开发工具包为WaferSense®和ReticleSense®系列设备提供应用程序编程接口(API). 这允许将设备直接集成到用户开发的软件应用程序中.
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