用于检测和计量的高精度3D传感技术解决方案

SQ3000+通过精心识别和拒绝由闪亮组件和表面引起的基于反射的扭曲，提供了无与伦比的精度. 有效抑制多重反射对精确测量至关重要. 新, 集成到SQ3000+中的超高分辨率5微米MRS传感器是专为具有最苛刻要求的高级应用而设计的. 采用MRS技术的SQ3000+是包括先进封装在内的高端应用的理想选择, 小型/微型领导, 先进的汽车SMT应用, 医疗, 军事, 航空航天和先进电子, 008004/0201锡膏检验(SPI), 插座计量和其他高端坐标测量(CMM)应用，质量和可靠性至关重要.

MRS传感器用于SQ3000 3D AOI, SPI和CMM js1996网址的突破性3D传感技术包括四个多视图3D传感器和一个平行投影仪，以生产速度提供计量级精度. js1996网址独特的传感器架构同时捕获和并行传输多个图像，而专有的3D融合算法将图像合并在一起. 其结果是超高质量的3D图像，在生产速度下精确到10微米以下. 通过精心识别和拒绝由闪亮组件和反射焊点引起的反射，革命性的MRS传感器技术实现了无与伦比的精度. 有效抑制多重反射对于精确测量至关重要，使MRS成为广泛应用的理想技术解决方案，包括那些具有非常高质量要求的应用.

js1996网址将专有的多反射抑制(MRS)传感器提升到更精细的分辨率，精度为7 μ m. 超高分辨率MRS传感器增强了SQ3000 3D AOI平台, 提供卓越的检验性能, 非常适合0201公制工艺和微电子应用，其中更高程度的精度和检测可靠性至关重要

SE3000™SPI系统的新型双模MRS传感器为专用锡膏检测应用提供了最大的灵活性, 具有一种高速检测模式和另一种高分辨率检测模式. 高速检测与MRS传感器，同时捕获和传输多个图像并行, 而高度复杂的融合算法将图像合并在一起, 以生产速度提供显微图像质量. 利用MRS技术有效抑制多重反射是实现高精度检测的关键.

MRS技术是广泛应用的理想解决方案，包括插座计量和微电子应用.

js1996网址 3微米纳米分辨率MRS传感器可实现计量级精度，对小至25微米的特征具有100%的2D和3D检测性能. 100% 2D和3D检测可同时高速完成, 而不是另一个, 缓慢的方法，需要对2D和3D进行两次单独扫描, 这只是25块晶圆片中的一小部分样本. 它比市场上的其他解决方案快两到三倍. 数据处理速度超过每秒7500万个3D点, 纳米分辨率MRS传感器每小时可提供超过25片晶圆(300毫米)的吞吐量. 这种一流的MRS传感器技术非常适合检查CPU插座, 集成电路方案, 焊锡球和凸点, 铜柱, 以及其他需要高精度和高速的先进封装和中端半导体应用.

js1996网址是KLATencor®BEOL包装检测系统的KLATencor - tencor (NASDAQ: KLAC)专有MRS传感器的OEM供应商.